Selon un rapport de ETNews de la Corée, Samsung Electronics est en train de développer un « système de capteurs intelligents » pour contrôler et gérer les processus de fabrication des semi-conducteurs.
Un des points clés pour améliorer le rendement des semi-conducteurs est de contrôler avec précision l’uniformité et la densité du plasma pendant le processus de production des semi-conducteurs. Le « système de capteurs intelligents » est utilisé pour mesurer l’uniformité du plasma des wafers, mesurer et gérer avec précision les performances des processus d’érosion, de dépôt et de nettoyage, dans l’espoir d’améliorer le rendement et la capacité des semi-conducteurs.
Capteurs intelligents propres à Samsung
La plupart des capteurs intelligents de wafers existants de Samsung sont achetés auprès de fabricants étrangers, notamment des États-Unis, coûtant des dizaines de millions de wons sud-coréens. Cependant, avec la demande croissante de production, Samsung est poussé à développer ses propres capteurs pour réduire sa dépendance aux capteurs étrangers.
Il est entendu que les capteurs intelligents que Samsung Electronics développe sont de très petite taille et n’auront pas d’impact majeur sur l’espace des équipements existants, ce qui signifie qu’ils peuvent augmenter la capacité de production tout en améliorant l’utilisation de l’espace.
Selon les rapports, Samsung Electronics prévoit d’étendre progressivement le développement et l’application des capteurs intelligents. Leur objectif ne se limite pas au plasma, mais inclut le développement de capteurs et systèmes SMART utilisables pour divers processus de fabrication de semi-conducteurs.
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